Q72◆【ウエーハ加工絶縁体上のシリコン層結晶欠陥】半導体シリコン結晶工学志村史夫丸善出版 1993年 ISBN 9784621038765 240412の落札結果
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ウエーハ加工絶縁体上のシリコン層結晶欠陥半導体シリコン結晶工学志村史夫丸善出版 1993年 ISBN 9784621038765 240412

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半導体シリコン結晶工学

志村史夫

丸善出版

1993年発行

ISBN 9784621038765

単結晶の育成

ウエーハ加工と洗浄

酸化膜と窒化膜

絶縁体上のシリコン層

結晶欠陥の解析と制御

結晶欠陥の制御

結語シリコン結晶工学の将来

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Q72◆【ウエーハ加工 絶縁体上のシリコン層 結晶欠陥】半導体シリコン結晶工学 志村史夫 丸善出版 1993年 ISBN 9784621038765 240412の落札結果 中古